Dos làsers d'excímer (Lambda Physik LPX 205i).

  Sistema de dipòsit d'ultra-alt buit (Varian Picotorr 450) per al dipòsit amb làser (làser MBE) amb sistema RHEED (Staib, 35 keV, buit diferencial) per a caracterització in-situ .

  Dos sistemes d'alt buit especialment dissenyats per a la preparació mitjançant dipòsit amb làser pulsat de capes fines i estructuras basades en òxids.

  Sistema de marcat amb làser.

  Sistema automatitzat de caracterizació elèctrica en el rang 10-325 K.

  Sistema automatitzat de caracterizació de propietats ferroelèctriques.