Dos láseres de excímero (Lamdda Physik LPX 205i).

  Sistema de depósito de ultra-alto vacío (Varian Picotorr 450) para depósito con láser (láser MBE) con sistema RHEED (Staib, 35 keV, vacío diferencial) para caracterización in-situ.

  Dos sistemas de alto vacío especialmente diseñado para la preparación mediante depósito con láser pulsado de capas finas y estructuras basadas en óxidos.

  Sistema de marcado con láser.

  Sistema automatizado de caracterización eléctrica en el rango 10-325 K.

  Sistema automatizado de caracterización de propiedades ferroeléctricas.